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超純水的制備主要包括：預脫鹽和精處理脫鹽兩大部分。預脫鹽常常采用離子交換工藝和反滲透工藝。而預脫鹽后續的精脫鹽則根據目標水質(zhì)的要求而有所不同，對超高純水，一般采用EDI技術(shù)；而對要求低一點(diǎn)的純水，可采用混床技術(shù)。